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薄膜锁边机
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薄膜锁边机导热的程度

2019-12-03

1. Van-der-Pauw测量

为了样品的电导率(σ)和霍尔系数(A H),使用Van-der-Pauw方法。在将样品沉积到芯片上之后,样品已经在其边缘连接到四个电极ABCD。为了进行测量,在两个触点之间施加电流,并测量其余两个触点之间的相应电压。通过顺时针改变触点并重复该过程,可以使用Van-der-Pauw公式计算出样品的电阻率。通过施加磁场并测量对角范德堡电阻的相应变化,可以计算出样品的霍尔系数。

2. Seebeck系数测量

为了Seebeck系数,在芯片上电晕机说明靠近样品的地方放置了一个额外的温度计和加热器。这种配置允许在不同的温度梯度下测量热电压,可用于计算塞贝克系数S = -V th / T

3.薄膜热导率测量

为了面内热导率,使用了正在申请的热条纹悬浮膜装置。在这种设置中,一根小的电线用作加热器和温度传感器。感兴趣的样品将直接沉积在该膜上。为了进行测量,将电流施加电晕机处理机到热线,该热线由于焦耳热而被加热。由于温度上升,导线的电阻率发生变化,可以测量。从这种电阻率变化以及对设置的确切几何形状薄膜锁边机的了解,可以计算回样品的导热率。

根据样品,还可以测量发射率和比热。为了获得高质量的结果,-7 W / K

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