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设计经过优化,可测量以下物理特性:
λ–导热系数
c p –比热
ε–发射率(取决于样品性质)
热电封装
由扩展的测量电子设备(DC)和用于热电晕机制造电实验的评估软件组成。该设计针对测量以下参数进行了优化:
ρ–电阻率/σ–导电率
S –塞贝克系数
磁性包装磁性包装有
两种不同的配置。带有电源,现场开关,电路和水冷的可移动电磁体(EM)或带有两个永磁体(PM)的可移动配置。
电磁体允许用户在垂直于样品的+/- 1 Tesla之间施加可变的场强。永磁体设置只能用于对样品施加三个定义的磁场点(+0.5T,0T和-0.5T)。两种设计均针对测量以下参数进行了优化:
A H –霍尔常数
μ– 迁移率(根据型号计算)
n –载流子浓度(根据型号计算)
低温选项可控制冷却
LN 2冷却到100 K
TFA / KREG控制的冷却装置
TFA / KRYO杜瓦瓶25l
产品规格
主要系统特征
高质量,易于使用的薄膜表征系统(nm至µm范围)。
温度相关测量(-170°C至+ 280°C)。
简单的样品制备和处理。
基于芯片的测量设备,具有预先构造的芯片作为消耗品。
高测量(样品厚薄膜锁边机度,样品电阻率,沉积方法)。
运行从同一样品中获取测量值。
可以测量半导体以及金属,陶瓷。
软件
使价值可见并具有可比性